نظم كهروميكانيكية بصرية صغرى
عودة للموسوعةالنظم الكهروميكانيكية البصرية الصغرى (إم أوإي إم إس) (بالإنجليزية: Microoptoelectromechanical systems)، المعروفة باسم النظم الكهروميكانيكية الصغرى البصرية، ليست فئة خاصة من النظم الكهروميكانيكية الصغرى (ميمس) بل هي مجموعة من الميمس المدمجة مع البصريات الدقيقة؛ وذلك يتضمن استشعار أومعالجة الإشارات البصرية على نطاق صغير جدًا باستخدام النظم الميكانيكية والبصرية والكهربائية المتكاملة. تتضمن النظم الكهروميكانيكية البصرية الصغرى مجموعة متنوعة من الأجهزة، كالمبدل البصري، والتوصيل البصري المتبادل، والليزر سطحي الإصدار ذوالجوف الشاقولي الانضباطي، ومقاييس الإشعاع الحراري المجهري. تُصنع هذه الأجهزة عادة باستخدام البصريات الدقيقة وتقنيات التجهيز الآلي القياسية باستخدام مواد مثل السيليكون وثاني أكسيد السيليكون ونيتريد السليكون وزرنيخيد الغاليوم.
تاريخ النظم الكهروميكانيكية البصرية الصغرى
خلال الفترة 1991-1993، استخدم الدكتور إم. إدوارد موتاميدي، وهومبتكر سابق في روكويل إنترناشيونال في مجالات النظم الكهروميكانيكية الصغرى والبصريات الدقيقة، داخليًا اختصار «إم أوإي إم إس» للنظم الكهروميكانيكية البصرية الصغرى. وذلك من أجل التمييز بين الميمس البصرية وإم أوإي إم إس، إذ يمكن حتى تشتمل ميمس البصرية على بصريات مجمعة لكن إم أوإي إم إس تعتمد عمليًا على التقنيات الدقيقة حيث تُعالج أجهزة إم أوإي إم إس على دفعات تمامًا مثل الدارات المتكاملة، ولكن هذا ليس سليمًا في معظم الحالات بالنسبة إلى الميمس البصرية.
وفي عام 1993، قدم الدكتور موتاميدي رسميًا إم أوإي إم إس لأول مرة، بوصفه المزيج القوي من الميمس والبصريات الدقيقة، في حديث ضمن الاستعراضات النقدية التي يقوم بها البرنامج الخاص للعلوم البصرية والتكنولوجيا التابع لجمعية مهندسي الأجهزة البصرية (إس بّي آي إي) في مؤتمر سان دييغو. في هذا الحديث، قدم الدكتور موتاميدي شكلا يوضح حتى (إم أوإي إم إس) هوتفاعل ثلاث تقنيات دقيقة رئيسية؛ والتي هي البصريات الدقيقة والميكانيكا الدقيقة والإلكترونيات الدقيقة.
انظر أيضًا
- كهروميكانيكا الصغائر
- تصنيع دقيق
مراجع
- ^ M. E. Motamedi, " Acoustic Accelerometers ", IEEE Trans. on Ultrasonic’s, Ferroelectrics, and Frequency Control, Vol. UFFC-34, No. 2, P. 237, March 1988
- ^ M.E. Motamedi, et al, “Silicon Microlenses for Enhanced Optical Coupling to Silicon Focal Planes”, Proceedings of جمعية مهندسي الأجهزة الضوئية , 1544, pp. 22-32, July 1991
- ^ M.E. Motamedi, et al, “High Speed Binary Microlens in GaAs”, Proceedings, جمعية مهندسي الأجهزة الضوئية , 1544, pp. 33–44, July 1991.
- ^ M. E. Motamedi, "Merging Micro-optics with Micromechanics: Micro-Opto-Electro-Mechanical (MOEM) devices", Critical Reviews of Optical Science and Technology, V. CR49, جمعية مهندسي الأجهزة الضوئية Annual Meeting, Proceeding of Diffractive and Miniaturized Optics, page 302-328, July, 1993
التصنيفات: كهروضوئيات, صفحات بها وصلات إنترويكي, مقالات يتيمة منذ أبريل 2020, جميع المقالات اليتيمة, جميع المقالات التي بحاجة لصيانة, بوابة الفيزياء/مقالات متعلقة, جميع المقالات التي تستخدم شريط بوابات
