ترسيب في الفراغ
الترسيب في الفراغ Vacuum deposition، هي عمليات تستخدم في ترسيب طبقات الذرات أوالجزئيات بعضها فوق البعض تحت ضغط جوي (فراغ) على الأسطح الصلبة. ويمكن حتى تكون تلك الطبقات في سمك ذرة واحدة وقد تصل إلى عددة مليمترات. ويمكن ترسيب طبقات متعددة من نفس المادة أومن مواد مختلفة (مثل التكسية البصرية). وعندماقد يكون سُمك تلك الطبقات أقل من ميكرومتر واحدة فتسمى thin film، وعندما تتعدى سماكة طبقات الترسيب الميكرومتر الواحدة تسمى بالتكسية.
التطبيقات
- التوصيل الكهربي: metallic films, transparent conductive oxides (TCO), superconducting films & coatings
- أشباه الموصلات : semiconductor films, electrically insulating films
- Solar cells.
- الأفلام البصرية: antireflective coatings, المرشحات البصرية
- Reflective coatings: mirrors, hot mirrors
- Tribological coating: hard coatings, erosion resistant coatings, solid film lubricants
- Energy conservation & generation: low-E glass coatings, solar absorbing coatings, mirrors, solar thin film photovoltaic cells, smart films
- Magnetic films: magnetic recording
- Diffusion barrier: gas permeation barriers, vapor permeation barriers, solid state diffusion barriers
- Corrosion protection:
- تطبيقات السيارات: lamp reflectors and trim applications
انظر أيضاً
- Ion plating
- ترسيب بالرذ
- Cathodic arc deposition
- تبخير حراري
- Spin coating
المصادر
ببليوگرافيا
- SVC, "51st Annual Technical Conference Proceedings" (2008) SVC Publications ISSN 0737-5921 (previous proceeding available on CD)
- Anders, Andre (editor) "Handbook of Plasma Immersion Ion Implantation and Deposition" (2000) Wiley-Interscience ISBN 0-4712-4698-0
- Bach, Hans and Dieter Krause (editors) "Thin Films on Glass" (2003) Springer-Verlag ISBN 3-540-58597-4
- Bunshah, Roitan F (editor). "Handbook of Deposition Technologies for Films and Coatings", second edition (1994)
- Glaser, Hans Joachim "Large Area Glass Coating" (2000) Von Ardenne Anlagentechnik GmbH ISBN 3-00-004953-3
- Glocker,and I. Shah (editors), "Handbook of Thin Film Process Technology", Vol.1&2 (2002) Institute of Physics ISBN 0 7503 0833ثمانية (2 vol. set)
- Mahan, John E. "Physical Vapor Deposition of Thin Films" (2000) John Wiley & Sons ISBN 0-471-33001-9
- Mattox, Donald M. "Handbook of Physical Vapor Deposition (PVD) Processing" (1998) Noyes Publications ISBN 0-8155-1422-0
- Mattox, Donald M. "The Foundations of Vacuum Coating Technology" (2003) Noyes Publications ISBN 0-8155-1495-6
- Mattox, Donald M. and Vivivenne Harwood Mattox (editors) "50 Years of Vacuum Coating Technology and the Growth of the Society of Vacuum Coaters" (2007), Society of Vacuum Coaters ISBN 978-1-878068-27-9
- Westwood, William D. "Sputter Deposition", AVS Education Committee Book Series, Vol. 2 (2003) AVS ISBN 0-7354-0105-5
- Willey, Ronald R. "Practical Monitoring and Control of Optical Thin Films (2007)" Willey Optical, Consultants ISBN 978-6151-3760-5
- Willey, Ronald R. "Practical Equipment, Materials, and Processes for Optical Thin Films" (2007) Willey Optical, Consultants ISBN 978-6151-4397-2
